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シリコンウエハーの再生加工

シリコンウエハーの再生加工、再生ウエハーとは？

お客様において使用済みとなったテストウエハー、或いはリジェクトされたプライムウエハーを、当社独自のノウハウをもって新品ウエハーと同等の状態にすることを、ウエハーの再生加工といいます。

ウエハー再生加工イメージ図

ウエハー再生加工イメージ図

お客様より使用済みになったテストウエハーやリジェクトされたプライムウエハーを受領後、当社にて再生加工、検査を実施し新品ウエハーと同等にして、お客様へお渡しいたします。 再生利用できない状態のウエハーについては、当社にてウエハーを買い取り致します。

ウエハー再生加工のための各処理

膜除去

お客様において付着した酸化膜やMETAL膜を、それぞれの膜に合わせた薬液で化学的に除去するのが「膜除去」です。 ウエハーをベア状態に戻す際に必要となる技術です。

膜除去

ケミカル再生

「ケミカル再生」とは研磨を伴わない再生方法で、膜除去と洗浄のみで仕上げます。 研磨をしないので、ウエハーの厚みを維持したり、高平坦度のウエハーの面状態を維持することが可能です。

ケミカル再生

研磨再生

上記ケミカル再生の工程に、研磨工程を加えた加工を「研磨再生」といいます。 3〜20μｍ程度研磨することで、ケミカル再生では実現できない清浄度や、表面に付いたキズ等を削り落とすことが可能です。

研磨再生
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シリコンウエハー再生会社　フジミファインテクノロジーへご相談下さい

フジミファインテクノロジーの再生加工プロセスをご紹介いたします。

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